激光器已被廣泛應(yīng)用于工業(yè)，例如在高性價比的制造系統(tǒng)中用作可靠的能源，進行標記、鉆孔、淬火和表面處理。目前的工業(yè)發(fā)展要求將設(shè)備的形體尺寸降低達到亞微米甚至納米級。作為一種無掩膜和非接觸工藝，激光納米加工具有設(shè)置靈活以及能夠在空氣、真空或液體環(huán)境中操作的獨特優(yōu)點，因此成為更廣泛應(yīng)用的一種最具吸引力的加工或制造工具。
目前已經(jīng)開發(fā)一些新技術(shù)來加工功能性納米結(jié)構(gòu)。工業(yè)應(yīng)用的關(guān)鍵問題是在大規(guī)模生產(chǎn)中如何在短時間內(nèi)產(chǎn)生大面積的納米結(jié)構(gòu)。本文介紹了潛在大規(guī)模生產(chǎn)的一些多功能激光納米加工方法，另外還簡要討論了滿足亞20 nm分辨率的激光納米加工進一步發(fā)展的前景。
微球體陣列輔助激光納米加工
激光納米加工的關(guān)鍵挑戰(zhàn)是如何將空氣中的紫外線或可見激光光束聚焦到亞100nm，從而克服光學衍射限制。我們的研究顯示，自排列或大面積旋轉(zhuǎn)涂抹形成的透明微球體陣列能夠?qū)⑷肷浼す夤馐蛛x為成千上百萬的微小光束，還能用作透鏡，聚焦這些微小光束以開展表面納米制圖。
